发明公开
CN115297765A 结构化照明的相位掩模
审中-实审
- 专利标题： 结构化照明的相位掩模
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申请号： CN202180022444.3申请日： 2021-02-16
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公开(公告)号： CN115297765A公开(公告)日： 2022-11-04
- 发明人: M·乔治亚迪斯
- 申请人： 热电科学仪器有限公司
- 申请人地址： 美国威斯康星州
- 专利权人： 热电科学仪器有限公司
- 当前专利权人： 热电科学仪器有限公司
- 当前专利权人地址： 美国威斯康星州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 周全
- 优先权： 62/978,351 20200219 US
- 国际申请： PCT/US2021/018202 2021.02.16
- 国际公布： WO2021/167896 EN 2021.08.26
- 进入国家日期： 2022-09-19
- 主分类号： A61B5/00
- IPC分类号： A61B5/00 ; G01B9/02 ; G01J3/453
摘要：
描述相位掩模的实施例，所述相位掩模包括安置于衬底上的挡光层，其中所述挡光层具有多个光学透射区，每一光学透射区被配置为第一图案。所述第一图案包含具有彼此不同的相位配置的两个片段，并且所述挡光层包含所述第一图案的至少三个角定向。
