一种基于微纳结构的双波段制导激光吸收器件及其制备方法
Abstract:
本发明公开了一种基于微纳结构的双波段制导激光吸收器件及其制备方法,由平面延拓的若干吸波单元构成,主要采用微纳加工方法制备。所述吸波单元由三层构成:上层为等离激元谐振层,中间层为法布里珀罗(FP)谐振层,下层为金属底板反射层。所述等离激元谐振层包含十字架结构,由介质材料十字架和金属材料十字架堆叠而成,并置于所述FP谐振层之上,形成周期性阵列。所述FP谐振层置于所述等离激元谐振层和金属底板反射层之间,由高折射率的介质材料构成。所述金属底板反射层由金属镍构成。所述微纳加工方法主要包括真空镀膜、电子束曝光等过程。本发明通过等离激元谐振和FP谐振相结(56)对比文件张科《.表面等离激元结构色及超表面吸收器的设计、制备与性能研究》《.中国博士学位论文全文数据库 基础科学辑》.2022,第33-41页.Dachuan Liu等《.Fabry–Perot-resonator-coupled metal pattern metamaterial forinfrared suppression and radiativecooling》《.Applied Optics》.2020,第59卷(第23期),第6861-6862页.
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