具有分叉电极的膜体声学谐振器
摘要:
本发明涉及一种声学谐振器,所述声学谐振器具有第一电极,所述第一电极具有第一平面部分。具有第二平面部分的第二电极设置成平行于所述第一平面部分。所述第二电极具有限定间隙的分叉端部。压电层设置于所述第一平面部分和所述第二平面部分之间并且接触两者。所述第二电极的所述分叉端部也接触所述压电层。所述间隙形成于滤波器内的每个谐振器的周边中。所述间隙形成于顶部电极中,所述顶部电极通常由钼形成,但也可由其它金属形成。不同于顶部电极和压电材料之间的间隙,本文所叙述的所述间隙整体地处于所述第二电极内。这种结构兼容内部钝化层,所述内部钝化层实现了单晶压电层和较大底部电极。
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