一种互补式人工突触阵列及其电流体喷印制备方法
摘要:
本发明属于柔性微电子器件制备相关技术领域,其公开了一种互补式柔性人工突触阵列及其电流体喷印制备方法,包括以下步骤:(1)在亲水处理后的透明基底上制备聚酰亚胺层;(2)在聚酰亚胺层上制备氧化铟锡调节层;(3)氧化铟锡调节层上沉积金属纳米线;(4)采用热辅助电流体喷印纺丝方式在在金属纳米线的相应位置沉积底层有机聚合物电极;(5)在底层有机聚合物电极上自下而上依次沉积下层有机阻变层、中间层有机聚合物电极、上层有机阻变层;(6)采用热辅助电流体喷印纺丝方式在每排上层有机阻变层上制备顶层有机聚合物电极,继而得到互补式柔性人工突触阵列。本发明实现了柔性人工突触结构的大规模快速制备,并克服了漏电流问题。
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