本发明涉及一种控制非金属元素含量的高纯钨粉的制备方法。为了有效降低高纯钨粉中非金属元素(C、H、O、N)的含量，本发明提供了一种能够控制非金属元素含量的高纯钨粉的制备方法。本发明以高纯APT为原料，经气破预处理后，采用分段煅烧工艺制备了高纯WO3，然后通过高温氢还原制备了高纯钨粉。采用本发明的高纯钨粉的制备方法，可以制备得到晶粒发育较完整、活性较低、C、O、N、H含量较低的高纯钨粉，能够更好的满足半导体用高纯溅射靶材的需求，在半导体集成电路或太阳能光伏溅射镀膜领域的应用市场前景非常广阔。