发明公开
- 专利标题: 一种温场均匀的碳化硅立式合成炉
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申请号: CN202210561656.5申请日: 2022-05-23
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公开(公告)号: CN114920246A公开(公告)日: 2022-08-19
- 发明人: 王人松 , 高树良 , 胡动力 , 廖亚
- 申请人: 连城凯克斯科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号
- 专利权人: 连城凯克斯科技有限公司
- 当前专利权人: 连城凯克斯科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号
- 代理机构: 无锡亿联盛知识产权代理有限公司
- 代理商 李晶晶
- 主分类号: C01B32/984
- IPC分类号: C01B32/984
摘要:
本发明属于碳化硅合成领域,具体的说是一种温场均匀的碳化硅立式合成炉,包括石墨坩埚;所述石墨坩埚的侧壁安装有外壳;所述外壳的内部固接有电推杆;所述电推杆的输出端固接有支撑架;通过设置的环绕线圈连接中频感应电源供电,实现环绕线圈感应加热线圈的功率调整,配合电推杆带动上下滑动对石墨坩埚的侧壁加热,起到对外壳内部温场控制均衡的作用,并且依靠在环绕线圈的表面涂覆耐热涂层,并包裹环绕线圈,降低高温对环绕线圈的灼伤,同时利用温度传感器对外壳内部温度监测,温度过高时使警报灯发出警报,提醒工人打开密封塞使外壳内部快速散热,把控温场的均匀性。
公开/授权文献
- CN114920246B 一种温场均匀的碳化硅立式合成炉 公开/授权日:2023-09-22