一种温场均匀的碳化硅立式合成炉
摘要:
本发明属于碳化硅合成领域,具体的说是一种温场均匀的碳化硅立式合成炉,包括石墨坩埚;所述石墨坩埚的侧壁安装有外壳;所述外壳的内部固接有电推杆;所述电推杆的输出端固接有支撑架;通过设置的环绕线圈连接中频感应电源供电,实现环绕线圈感应加热线圈的功率调整,配合电推杆带动上下滑动对石墨坩埚的侧壁加热,起到对外壳内部温场控制均衡的作用,并且依靠在环绕线圈的表面涂覆耐热涂层,并包裹环绕线圈,降低高温对环绕线圈的灼伤,同时利用温度传感器对外壳内部温度监测,温度过高时使警报灯发出警报,提醒工人打开密封塞使外壳内部快速散热,把控温场的均匀性。
公开/授权文献
0/0