发明授权
- 专利标题: 一种圆管外壁镀膜装置
-
申请号: CN202210391457.4申请日: 2022-04-14
-
公开(公告)号: CN114918087B公开(公告)日: 2023-01-20
- 发明人: 陈刚 , 唐毅 , 秦源涛 , 黄俊宇 , 龚恒翔 , 肖黎
- 申请人: 重庆理工大学
- 申请人地址: 重庆市巴南区红光大道69号
- 专利权人: 重庆理工大学
- 当前专利权人: 重庆理工大学
- 当前专利权人地址: 重庆市巴南区红光大道69号
- 代理机构: 重庆市诺兴专利代理事务所
- 代理商 肖永钱
- 主分类号: B05B17/06
- IPC分类号: B05B17/06 ; B05B12/32 ; G01N1/28 ; G01N1/44
摘要:
本发明公开了一种圆管外壁镀膜装置,包括控制箱和设于该控制箱上的升降单元、雾化单元和反应单元,圆管衬底可转动地设于所述升降单元上;所述反应单元包括置于所述控制箱上的金属均热板,该金属均热板通过均匀分布在其上的碘钨灯进行加热,所述金属均热板上设石英腔体,所述圆管衬底位于该石英腔体内,所述石英腔体内设有热电偶,该热电偶通过导线与所述控制箱电连接,溶液在所述雾化单元内雾化后进入所述石英腔体,实现在所述圆管衬底上进行镀膜。本发明以超声雾化热解喷涂为薄膜沉积原理,实现了管状样品外壁薄膜制备,尤其是氧化物薄膜制备,具有结构简单合理、操作维护方便、环境污染小和综合成本低的特点,解决了圆管外壁薄膜生长的难点。
公开/授权文献
- CN114918087A 一种圆管外壁镀膜装置 公开/授权日:2022-08-19