一种圆管外壁镀膜装置
摘要:
本发明公开了一种圆管外壁镀膜装置,包括控制箱和设于该控制箱上的升降单元、雾化单元和反应单元,圆管衬底可转动地设于所述升降单元上;所述反应单元包括置于所述控制箱上的金属均热板,该金属均热板通过均匀分布在其上的碘钨灯进行加热,所述金属均热板上设石英腔体,所述圆管衬底位于该石英腔体内,所述石英腔体内设有热电偶,该热电偶通过导线与所述控制箱电连接,溶液在所述雾化单元内雾化后进入所述石英腔体,实现在所述圆管衬底上进行镀膜。本发明以超声雾化热解喷涂为薄膜沉积原理,实现了管状样品外壁薄膜制备,尤其是氧化物薄膜制备,具有结构简单合理、操作维护方便、环境污染小和综合成本低的特点,解决了圆管外壁薄膜生长的难点。
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