本发明涉及一种质谱仪小孔气组件反吹方法及装置，该装置包括：第一电磁阀、第二电磁阀，第一电磁阀的进气口与气罐连接，第一电磁阀的第一出气口与节流阀连接，节流阀与碰撞气控制阀组连接，碰撞气控制阀组与第二电磁阀连接，第二电磁阀与碰撞池连接，第一电磁阀的第二出气口接在碰撞气控制阀组与第二电磁阀之间，机械泵的接在单向节流阀与碰撞气控制阀组之间。本发明的实现方法简单，保证了仪器进气流量的稳定可靠；通过正反吹的切换，满足小孔气组件清洁需求；降低了拆机维护成本。