本发明涉及一种用于抛光的激光空化装置和方法，包括升降台，所述升降台上固定安装有工作台，所述工作台上设置有工作池，所述工作池上方分别设置有激光发射装置和抛光液输送器，所述工作池内部安装有抛光台，所述工作台内部安装有电机，所述电机的输出轴与所述抛光台固定在一起，所述抛光台上固定有抛光垫，所述抛光垫紧贴于材料的底面，所述材料通过固定环进行位置固定，所述激光发射装置发射的激光聚焦于所述材料的上方位置。本发明采用激光空化抛光结合化学机械抛光的装置与方法，解决了常规抛光技术中过程繁琐、效率低等问题，提高了抛光的工作效率与抛光材料的产品质量。