本公开提供了一种气体流量控制装置的浓度补偿方法，根据目标流量获取差压传感器的理论压差及流量调节单元的初始开度值，基于初始开度值对流量调节单元进行控制，并获取差压传感器的实际压差；判断实际压差与理论压差的差的绝对值是否大于0且小于等于一阈值，若否，则通过实际开度值校正初始开度值来调节流量调节单元；若是，则比较实际压差与理论压差的大小，若实际压差大于理论压差，采用第一补偿系数对输出气体的实测浓度进行补偿，否则，采用第二补偿系数对输出气体的实测浓度进行补偿。有效解决了进气端压力发生无法校正的轻微偏移或现场环境大气压小幅变化而造成流量控制装置无法达到目标流量时，导致气体浓度变化的技术问题。