一种用于测量细丝直径的衍射条纹识别处理方法，包括如下步骤：搭建一套衍射光路测量系统并利用CCD抓取衍射条纹图像；对图像进行条纹旋转竖直、识别居中、裁剪、高斯低通滤波、利用基于Gamma校正的图像对比度增强等一系列预处理后，考虑CCD等摆放未能完全竖直或平行，引入坐标空间修正，从图像中获取初始参数；并利用非线性最小二乘法拟合条纹图像，得出细丝直接测量结果。本发明光路系统简单，测量精度更高，相较于其他条纹图像处理方法，利用非线性最小二乘法拟合衍射条纹图像避免了游历全局寻找最优解的过程，计算时间更短，运算效率更高。拟合度均能达到94％以上，测量精度可以达到百纳米级别。