本申请涉及一种光罩及半导体结构。所述光罩包括边缘区域及位于所述边缘区域内侧的内部区域；所述光罩还包括：器件图形，器件图形的外围具有周边区域，周边区域环绕器件图形，周边区域与边缘区域具有间距；多个第一虚拟图形，位于边缘区域内及周边区域内；多个第二虚拟图形，位于边缘区域与周边区域之间；第二虚拟图形的面积大于第一虚拟图形的面积，由于易受应力影响的边缘区域以及环绕器件图形的周边区域中均为面积较小的第一虚拟图形，因此能够避免晶圆表面产生皱褶。