发明授权
- 专利标题: 电场传感器
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申请号: CN202210356949.X申请日: 2022-04-06
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公开(公告)号: CN114428189B公开(公告)日: 2022-07-29
- 发明人: 李鹏 , 田兵 , 李立浧 , 林跃欢 , 骆柏锋 , 尹旭 , 吕前程 , 刘仲 , 张佳明 , 王志明 , 陈仁泽 , 徐振恒 , 韦杰 , 谭则杰 , 林秉章 , 樊小鹏 , 孙宏棣 , 林力
- 申请人: 南方电网数字电网研究院有限公司
- 申请人地址: 广东省广州市黄埔区中新广州知识城亿创街1号406房之86
- 专利权人: 南方电网数字电网研究院有限公司
- 当前专利权人: 南方电网数字电网研究院股份有限公司
- 当前专利权人地址: 510700 广东省广州市黄埔区中新广州知识城亿创街1号406房之86
- 代理机构: 华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 周清华
- 主分类号: G01R29/12
- IPC分类号: G01R29/12
摘要:
本发明涉及一种电场传感器,包括:衬底;固定电极,与衬底固定连接;压电驱动层,第一侧面与衬底连接;可动电极,设置在压电驱动层的第二侧面上,且与固定电极构成一敏感结构;可动电极和固定电极互为屏蔽电极作用;压电驱动层在驱动电压作用下垂直振动并带动可动电极垂直振动,使固定电极和可动电极分别周期地暴露于待测电场中,从而在固定电极和可动电极上产生周期性的电荷变化,产生与待测电场强度相关的感应电流,通过采集固定电极和可动电极输出待测电场强度相关的感应电流。通过将压电驱动层设置在可动电极和衬底之间,以节省垂直方向上的空间,减小器件尺寸。
公开/授权文献
- CN114428189A 电场传感器 公开/授权日:2022-05-03