电场传感器
摘要:
本发明涉及一种电场传感器,包括:衬底;固定电极,与衬底固定连接;压电驱动层,第一侧面与衬底连接;可动电极,设置在压电驱动层的第二侧面上,且与固定电极构成一敏感结构;可动电极和固定电极互为屏蔽电极作用;压电驱动层在驱动电压作用下垂直振动并带动可动电极垂直振动,使固定电极和可动电极分别周期地暴露于待测电场中,从而在固定电极和可动电极上产生周期性的电荷变化,产生与待测电场强度相关的感应电流,通过采集固定电极和可动电极输出待测电场强度相关的感应电流。通过将压电驱动层设置在可动电极和衬底之间,以节省垂直方向上的空间,减小器件尺寸。
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