高频超声波用膜式水听器及其制造方法
摘要:
一种用于测量来自高频超声换能器的声能的水听器,或一种制造膜式水听器的方法。膜组件由框架支撑并且包括压电体。水听器还包括在压电体中形成的电极图案,以限定出有源区。此外,水听器包括连接到有源区的内置原位同轴层。
公开/授权文献
0/0