发明授权
- 专利标题: 炉顶盘升降旋转机构
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申请号: CN202210059225.9申请日: 2022-01-19
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公开(公告)号: CN114411257B公开(公告)日: 2023-01-17
- 发明人: 黎志欣 , 廖亚 , 张瑶勇 , 李佳明 , 李占贤
- 申请人: 连城凯克斯科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号
- 专利权人: 连城凯克斯科技有限公司
- 当前专利权人: 连城凯克斯科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号
- 主分类号: C30B29/36
- IPC分类号: C30B29/36 ; C30B35/00 ; F27D1/18 ; F27D21/00 ; F27D25/00
摘要:
本发明属于半导体生产技术领域,具体的说是炉顶盘升降旋转机构,包括调整平台和旋转固定架;所述调整平台上固接有导向筒;所述导向筒中活动连接有炉盖提升轴;所述炉盖提升轴下端通过关节轴承连接有电缸;所述炉盖提升轴上端固接有炉盖连接架;所述炉盖连接架远离炉盖提升轴的一端安装有炉盖;所述旋转固定架上安装有旋转单元;通过电缸推动炉盖提升轴上移,带动炉盖上升,使得炉盖与碳化硅单晶生长炉脱离,之后通过旋转单元带动炉盖提升轴转动,将炉盖旋转移开,便于后续对炉体内部情况进行检测,以及对炉体内部进行清扫,该操作解决了碳化硅单晶生长炉的炉盖自动提升和自动旋转这两个技术难题,保证了碳化硅单晶生长炉功能的完整性。
公开/授权文献
- CN114411257A 炉顶盘升降旋转机构 公开/授权日:2022-04-29
IPC分类: