本发明提供了一种低温制备高纯氟气的电解工艺，包括以下步骤，以HF为溶剂，从氟化物导电剂CsF、LiF、NaF或NaH氟气、KF或KH氟气中选出至少两种，与HF按比例配置成电解液；S2、组装以镍材为阳极的电解设备，开启电解，收集电解氟气气体样品经NaCl柱转化为含Cl2的检测气体，气相色谱定量分析杂质，红外气相色谱仪定量分析HF含量；收集电解氟气气体样品，经低温冷凝釜和NaF吸收柱去除HF后，经NaCl柱转化为含Cl2的检测气体，用红外气相色谱仪定量分析HF含量。本发明收集的电解氟气气体样品低温冷凝釜和NaF吸收柱去除HF后，经NaCl柱转化为含Cl2的检测气体，用红外气相色谱仪定量分析HF含量。