发明公开
- 专利标题: 一种1-3型压电单晶复合材料制备方法
-
申请号: CN202111552975.1申请日: 2021-12-17
-
公开(公告)号: CN114311351A公开(公告)日: 2022-04-12
- 发明人: 汪跃群 , 李伟 , 高亮
- 申请人: 中国船舶重工集团公司第七一五研究所 , 杭州瑞声海洋仪器有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区留下街道屏峰715号;
- 专利权人: 中国船舶重工集团公司第七一五研究所,杭州瑞声海洋仪器有限公司
- 当前专利权人: 中国船舶重工集团公司第七一五研究所,杭州瑞声海洋仪器有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区留下街道屏峰715号;
- 代理机构: 杭州九洲专利事务所有限公司
- 代理商 陈继亮
- 主分类号: B28D5/04
- IPC分类号: B28D5/04 ; H01L41/338
摘要:
本发明公开了一种1‑3型压电单晶复合材料制备方法,属于电子元器件制造技术领域。该方法由单晶的多线切割工艺、灌注工艺以及后续的脱模加工、印制电极等工艺过程组成。本方法发明的双面多线切割工艺,充分发挥了线切割小应力、接近常温切割的特点,实现对极化后的压电单晶进行高精度切割,制备的压电单晶复合材料无明显退极化,能够充分发挥单晶复合材料的高性能;避免了单晶切割容易崩瓷、断裂等不利影响。适合1‑3型压电单晶复合材料的制备,与传统刀片式切割制备工艺相比,具有明显的技术优势。