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工件支承件
Abstract:
排出路(42)具有:环状空间(2a),形成在插通孔(2)与支承杆(3)之间,该插通孔(2)形成在壳体(1)的末端部;以及排出口(42a),形成在壳体(1)的末端部。当输出构件(24)从基端侧极限位置移动到末端侧极限位置时,该输出构件(24)从出口室(32)推出的气体的排出量被设定为,比通过支承杆(3)从基端侧极限位置向末端侧位置移动而形成在该支承杆(3)的基端侧的收容室(45)的容积多。
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