质量分析装置以及控制该质量分析装置的方法
Abstract:
本发明提供能够更适当地维持真空室的气压的质量分析装置以及控制该质量分析装置的方法。本发明的质量分析装置的一例具备:第一真空室(101、201、301、401、501)、第一真空泵(106、203、303、403、503)、大气压相关值取得单元、调节第一真空泵(106、203、303、403、503)的实效排气速度的调节单元、控制装置(111、206、306、406、506),控制装置(111、206、306、406、506)根据大气压相关值对调节单元进行控制。
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