发明授权
摘要:
本发明提供了一种集成光纤声波传感器,包括光纤器件、弹性悬膜、以及声波挡板,弹性悬膜表面具有微孔阵列,其中每个微孔对应一个声波传感单元;声波挡板用于反射声波,以识别声波的传播方向;光纤器件射出的光束,入射到弹性悬膜上的微孔。本发明的弹性悬膜是一个独立的整体,便于在悬膜上加工各种微结构,易于制备传感单元阵列;本发明的微孔可以独立振动,而且光纤器件阵列垂直正对微孔阵列,器件集成度高;本发明的集成传感单元阵列,通过对比不同传感单元的信号,易于消除外界干扰;本发明的微孔结构,通过协同减小微孔悬膜的直径和厚度,不仅能同时提高传感器的灵敏度和响应频率,还有利于提高集成度、增加光束平行度、增加灵敏度。
公开/授权文献
- CN114199361A 一种集成光纤声波传感器 公开/授权日:2022-03-18