发明公开
- 专利标题: 字线驱动电路缺陷测试方法与装置
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申请号: CN202010858274.X申请日: 2020-08-24
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公开(公告)号: CN114093410A公开(公告)日: 2022-02-25
- 发明人: 陈武刚 , 杨龙
- 申请人: 长鑫存储技术有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
- 专利权人: 长鑫存储技术有限公司
- 当前专利权人: 长鑫存储技术有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
- 代理机构: 北京律智知识产权代理有限公司
- 代理商 孙宝海; 袁礼君
- 主分类号: G11C29/44
- IPC分类号: G11C29/44 ; G11C29/08
摘要:
本公开提供一种字线驱动电路缺陷测试方法与装置。方法包括:在存储单元阵列及其对应的字线驱动电路阵列中,选取m条字线作为待测字线,将m条待测字线中的一条设置为第一字线,将其余m‑1条设置为第二字线,其中,m条待测字线分别对应连接不同的m个字线驱动电路;对m条待测字线控对应连接的存储单元写入第一电位;对第一字线对应连接的存储单元写入第二电位;依次读取各第二字线对应连接的存储单元的实时电位,在一个目标存储单元的实时电位与第一电位的差值大于第一预设值时,判断该目标存储单元对应的第二字线连接的字线驱动电路具有缺陷;其中,第一电位与第二电位的差值大于等于0.6V。本公开实施例可以测试字线驱动电路是否存在栅极缺陷。
公开/授权文献
- CN114093410B 字线驱动电路缺陷测试方法与装置 公开/授权日:2022-05-17