本发明提供一种等离子体发生装置，包括：通液管道、壳体及电离机构；通液管道内用于通入待电离液体；通液管道设于壳体内，通液管道的外侧壁与壳体的内侧壁之间形成腔室，腔室用于通入待电离气体；通液管道可选择性地与腔室连通或阻断；其中，腔室还用于放置待处理物；电离机构用于电离待电离液体和/或待电离气体以获取等离子体，等离子体用于作用于待电离液体和/或待处理物。本发明通过充分利用等离子体中不同电性的带电离子所具有的属性，提升了等离子体的利用率。