低压气体击穿电压与位置的数值模拟方法及系统
摘要:
本发明提供了一种低压气体击穿电压与位置的数值模拟方法及系统,适用于真空环境下的复杂结构电极之间的气体放电过程模拟。所述方法基于将放电路径设定为间隙电场线,以放电路径和电位等势线划分计算域网格,在设定负电极表面的初始电子数量后,针对放电路径上的电子运动、电子与原子碰撞、离子生成以及二次电子生成进行计算。接着,对比各放电路径的二次电子生成总量,筛选出最可能击穿路径,再以该路径的二次电子数量与初始电子数量对比,判断是否能够触发临界击穿。本发明可实现复杂结构电极间的击穿电压和击穿位置的预估,且具有较高的计算效率。
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