本申请实施例公开了一种光阻喷涂装置及喷嘴防结晶方法，所述光阻喷涂装置包括：喷嘴，用于喷出光阻；第一容器，用于存储回吸的光阻；回吸管路，所述回吸管路上连接有第一输送管路，所述回吸管路通过所述第一输送管路连接第二容器，所述第二容器用于通过所述第一输送管路向所述喷嘴提供光阻；动力单元，设置在所述回吸管路上，用于将所述喷嘴中遗留的光阻沿所述回吸管路回吸到所述第一容器；第一阀门，设置在所述回吸管路上，用于启闭所述回吸管路。本申请实施例有助于解决回吸效果不佳以及光阻遗留在喷嘴导致的堵塞和浪费的问题。