发明公开
- 专利标题： 一种用于制备氧化物薄膜的加热装置
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申请号： CN202111231934.2申请日： 2021-10-22
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公开(公告)号： CN113957406A公开(公告)日： 2022-01-21
- 发明人: 艾金虎 , 殷立峰
- 申请人： 埃频(上海)仪器科技有限公司 , 复旦大学
- 申请人地址： 上海市奉贤区钜庭路998号1号楼;
- 专利权人： 埃频(上海)仪器科技有限公司,复旦大学
- 当前专利权人： 埃频(上海)仪器科技有限公司,复旦大学
- 当前专利权人地址： 上海市奉贤区钜庭路998号1号楼;
- 代理机构： 上海智晟知识产权代理事务所
- 代理商 张瑞莹; 李镝的
- 主分类号： C23C14/54
- IPC分类号： C23C14/54 ; C23C14/08 ; G02B27/09
摘要：
本发明公开一种用于制备氧化物薄膜的加热装置，其采用连续光纤激光器作为光源，包括真空腔体以及激光调节模块。其中，真空腔体至少包括设置于其内部的样品架、放置于样品架上的样品托、以及设置于真空腔体表面的视窗。样品托上设置有碳化硅吸收片，其用于放置样品。激光调节模块包括光纤准直镜以及扩束透镜。光纤准直镜、扩束透镜、视窗以及样品托沿激光光路依次设置，且光纤准直镜设置于扩束透镜的焦点处。
IPC分类:
