本发明提供了一种基于MAX‑DOAS的50米分辨率痕量气体廓线反演方法，包括以下步骤：S1、输入原始光谱，通过光谱拟合获得O4斜柱浓度以及气体斜柱浓度；S2、所述O4斜柱浓度结合气溶胶先验廓线通过蒙特卡罗采样算法第一次反演计算得到气溶胶廓线；S3、所述气溶胶廓线结合气体斜柱浓度、气体先验廓线通过蒙特卡罗采样算法第二次反演计算得到痕量气体廓线。本发明实现了痕量气体廓线分辨率由200m提升为50m，极大降低了反演算法的平滑误差，提升了立体分辨率。另外，本发明采用蒙特卡罗方法替代高斯牛顿迭代求解，蒙特卡罗求解过程通过调整采样次数，使得算法的解更加接近全局最优解，提高了算法的可靠性和精度，提升了算法的计算效率。