发明公开
- 专利标题： 一种测试光刻胶树脂组分的方法
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申请号： CN202111138814.8申请日： 2021-09-27
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公开(公告)号： CN113804867A公开(公告)日： 2021-12-17
- 发明人: 王璨 , 房彩琴 , 马洁 , 孙嘉 , 李冰 , 鲁代仁 , 董栋 , 张宁
- 申请人： 上海彤程电子材料有限公司 , 北京彤程创展科技有限公司 , 北京科华微电子材料有限公司 , 彤程化学(中国)有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
- 申请人地址： 上海市奉贤区化学工业区目华路201号1幢904室; ; ; ;
- 专利权人： 上海彤程电子材料有限公司,北京彤程创展科技有限公司,北京科华微电子材料有限公司,彤程化学(中国)有限公司,彤程新材料集团股份有限公司
- 当前专利权人： 上海彤程电子材料有限公司,北京彤程创展科技有限公司,北京科华微电子材料有限公司,彤程化学(中国)有限公司,彤程新材料集团股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市奉贤区化学工业区目华路201号1幢904室; ; ; ;
- 代理机构： 北京柏杉松知识产权代理事务所
- 代理商 张彦彦; 刘继富
- 主分类号： G01N33/44
- IPC分类号： G01N33/44
摘要：
本申请提供了一种测试光刻胶树脂组分的方法，通过获得光刻胶树脂中保护基团R的结构及分子量，采用凝胶渗透色谱获得光刻胶树脂经衍生化处理前后的重均分子量，并经本申请的公式计算，获得光刻胶树脂中保护基团R的保护率，进而获得光刻胶树脂中各单体的组分；所述方法能够准确获得光刻胶树脂中各单体的组分，为确定光刻胶树脂的性能提供了理论依据，且所述方法具有简便、灵敏度高、分析速度快、准确率高、误差小等优势。
公开/授权文献
- CN113804867B 一种测试光刻胶树脂组分的方法 公开/授权日：2023-10-31
