真空泵及磁轴承一体型马达
摘要:
所述真空泵(100)包括:转子(22b)、旋转翼转子包括:一对间隔构件(29)、支撑构件(27)、永磁石(26)以及保护环(28),支撑构件在旋转轴(11)的轴向上的机械强度大于保护环在轴向上的机械强度。(13)以及包括线圈的磁轴承一体型定子(22a)。
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