发明公开
- 专利标题: 基于聚焦离子束辐照制备二维光伏探测器的方法
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申请号: CN202110791067.1申请日: 2021-07-13
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公开(公告)号: CN113725316A公开(公告)日: 2021-11-30
- 发明人: 谭杨 , 刘悦 , 陈峰
- 申请人: 山东大学
- 申请人地址: 山东省济南市历城区山大南路27号
- 专利权人: 山东大学
- 当前专利权人: 山东大学
- 当前专利权人地址: 山东省济南市历城区山大南路27号
- 代理机构: 济南金迪知识产权代理有限公司
- 代理商 张宏松
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/109 ; H01L31/0336
摘要:
本发明涉及基于聚焦离子束辐照制备二维光伏探测器的方法,该方法利用离子束技术在二维材料一侧表面制备缺陷结构,利用缺陷调控二维材料的载流子掺杂,构建PN节,即将单层TMDCs与石墨烯堆叠在一起构成异质结,TMDCs在石墨烯上方,使用聚焦离子束轰击TMDCs薄膜,制备缺陷结构,并降低TMDCs的功函数。利用TMDCs与石墨烯间的纵向电子传输,对石墨烯进行电荷掺杂,调控石墨烯N态及P态电子性质,构建二维光伏探测器。可以实现全自动化过程,操作简单,重复性强,短时间内可制备出大批次光伏探测器的PN结二极管,制备出的二维光伏探测器具有宽波段探测能力,表现出优异的光伏性能。
IPC分类: