发明授权
- 专利标题: 一种可分区调控流量的散热结构及其制备方法
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申请号: CN202110791595.7申请日: 2021-07-13
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公开(公告)号: CN113658927B公开(公告)日: 2024-09-03
- 发明人: 王玮 , 杨宇驰 , 杜建宇
- 申请人: 北京大学 , 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区颐和园路5号;
- 专利权人: 北京大学,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
- 当前专利权人: 北京大学,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区颐和园路5号;
- 代理机构: 北京辰权知识产权代理有限公司
- 代理商 张晓玲
- 主分类号: H01L23/473
- IPC分类号: H01L23/473 ; H01L23/34
摘要:
本发明涉及一种可分区调控流量的散热结构,其通过调整入液管路与入液口的连接关系以及出液管路与出液口的连接关系,以及通过调整散热结构内不同区域的嵌入式微流道及歧管通道的结构特征和并行度来调整流阻,可以极大程度的减少调控流量所需要的压力调控结构数目。本发明的散热结构通过调节压力调控结构的压强数值,可以动态调控散热结构内不同区域的散热性能,相较于传统的单阀门流道结构,可以提升泵功的利用率,提升散热系统的能耗比。本发明针对散热结构内散热性能要求高的区域设计了小尺寸、高并行度、小流阻的歧管通道结构,在强化冷却性能的同时,较小流阻使得压降调控更为有效,增加了调制比例。另外,本发明还涉及所述散热结构的制备方法。
公开/授权文献
- CN113658927A 一种可分区调控流量的散热结构及其制备方法 公开/授权日:2021-11-16
IPC分类: