三氟化氮气体探测用红外滤光片及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种三氟化氮气体探测用红外滤光片,所述的红外滤光片包括基底、主膜系结构和截止膜系结构;所述的主膜系结构为:Sub/HLHL2HLHLHLHL2HLH0.08M/Air;所述的截止膜系结构为:Sub/0.18(HL)^5 0.265(HL)^7 0.38(HL)^7 0.52(HL)^7 0.73(HL)^7 1.43(0.5LH0.5L)^7 0.1M/Air;所述的红外滤光片的中心波长为11050±100nm,带宽为380±60nm,峰值透射率大于等于78%,截止区2000~18000nm最大透射率小于1%。本发明还提供了相应的制备方法和红外气体传感器。
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