本发明提供了一种基于统计过程控制的针对影像引导放疗设备定位精度的性能评估方法，属于影像引导放疗设备定位精度领域。所述方法包括以下步骤：步骤1、定位误差数据采集；步骤2、绘制Shewhart控制图；步骤3、异常检查；步骤4、排除异常数据。该方法基于统计过程控制技术，对临床使用的影像引导放疗设备的定位精度进行系统综合的评估，评估内容包括系统的定位精度及定位精度随时间而发生的系统偏移，以及系统在多大程度上能够满足既定的定位精度要求。运用本发明的方法，可以快速高效的查找到对影像引导放疗设备定位精度产生影响的因素，据此制定改进措施，进一步规范工作流程，提高该设备在临床运用中的定位精度。