本发明公开了一种用于汽化过氧化氢生物灭菌的汽化发生装置及其控制方法，汽化发生装置包括:一蒸发盘，一蠕动泵，一雾化泵，一风机和一预热管，蒸发盘包括底部连通的两个内腔，蒸发盘顶部设有与蠕动泵和雾化泵连接的加液口，蒸发盘侧壁设有分别与两个内腔连通的进气口和出气口，进气口与预热管连接，出气口连接需要汽化过氧化氢生物灭菌的房间；进气口连通的内腔的腔壁设有弧形蒸发面，该内腔内设置一加热网，弧形蒸发面和加液口分别位于加热网的两侧。本发明增加雾化装置与预热管，保证其闪蒸效果：改变蒸发盘内部结构，提高汽化效果；可根据外界信号反馈控制注射泵的速率，保护彩钢板；同时兼容35％过氧化氢与8％过氧化氢，适用更多环境。