本发明提供的是一种双U型波导结构的高灵敏度传感器。其特征是：它的主要结构是两条U型硅波导，弯曲部分为半圆环形；波导Ⅰ与波导Ⅱ在波导基底平面(即xy平面)的投影重叠处发生耦合(节点5与节点6)，双U型构成环形谐振腔，光场在双U型波导间发生谐振；波导弯曲处的倏逝波与目标材料发生相互作用，影响波导的有效折射率，使谐振波长漂移，从而引起输出端口透射谱的变化。本发明结构紧凑、易于集成、灵敏度高(约为655nm/RIU)，同时结构新颖、易于制备、成本较低，具有广泛的研究和应用价值。本发明可用于精确测量溶液和气体的微小浓度变化，可广泛应用于微纳光电集成化器件领域。