一种从IGZO靶材中分别回收铟和镓的方法
摘要:
本发明属于靶材回收技术领域,公开了一种从IGZO靶材中分别回收铟和镓的方法。该方法包括以下步骤:(1)取IGZO靶材粉碎,加入酸,溶解IGZO靶材中的氧化铟和氧化锌,过滤,灼烧,得到氧化镓;(2)向步骤(1)中滤液中加入弱碱,控制pH值,过滤,灼烧,得到氧化铟。该方法充分利用IGZO靶材中铟、镓和锌的性质,仅通过一次酸溶解和弱碱处理,就能分别回收得到高纯度的铟和镓。其处理过程简单,对设备要求低,回收的铟和镓中Zn含量小于6ppm,总杂质含量小于30ppm。且该方法能够充分利用IGZO靶材的生产设备,且回收的氧化铟和氧化镓粉末可直接作为IGZO靶材的原料。
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