- 专利标题: 一种从IGZO靶材中分别回收铟和镓的方法
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申请号: CN202110645113.7申请日: 2021-06-09
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公开(公告)号: CN113512651B公开(公告)日: 2022-11-11
- 发明人: 丁金铎 , 崔恒 , 葛春桥 , 柳春锡 , 金志洸
- 申请人: 中山智隆新材料科技有限公司
- 申请人地址: 广东省中山市板芙镇智能制造装备产业园智润路2号
- 专利权人: 中山智隆新材料科技有限公司
- 当前专利权人: 中山智隆新材料科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省中山市板芙镇智能制造装备产业园智润路2号
- 代理机构: 广州嘉权专利商标事务所有限公司
- 代理商 尹凡华
- 主分类号: C22B58/00
- IPC分类号: C22B58/00 ; C22B7/00 ; C05C3/00
摘要:
本发明属于靶材回收技术领域,公开了一种从IGZO靶材中分别回收铟和镓的方法。该方法包括以下步骤:(1)取IGZO靶材粉碎,加入酸,溶解IGZO靶材中的氧化铟和氧化锌,过滤,灼烧,得到氧化镓;(2)向步骤(1)中滤液中加入弱碱,控制pH值,过滤,灼烧,得到氧化铟。该方法充分利用IGZO靶材中铟、镓和锌的性质,仅通过一次酸溶解和弱碱处理,就能分别回收得到高纯度的铟和镓。其处理过程简单,对设备要求低,回收的铟和镓中Zn含量小于6ppm,总杂质含量小于30ppm。且该方法能够充分利用IGZO靶材的生产设备,且回收的氧化铟和氧化镓粉末可直接作为IGZO靶材的原料。
公开/授权文献
- CN113512651A 一种从IGZO靶材中分别回收铟和镓的方法 公开/授权日:2021-10-19