一种大尺寸GaN晶体及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种大尺寸GaN晶体及其制备方法,属于晶体生长技术领域。本发明提供了一种大尺寸GaN晶体的制备方法,包括以下步骤:将原料熔化,得到第一熔体;所述原料包括助熔剂;将GaN粉末放置于所述第一熔体的底部,得到混合体系;将GaN籽晶放置于所述混合体系的上部,然后在充满氮气的密闭环境中进行晶体生长,得到大尺寸GaN晶体;所述氮气的压强为0.1~10MPa;所述晶体生长的温度为600~900℃。实验结果表明,本发明提供的制备方法制备的GaN晶体的尺寸可达30mm*10mm*2.5mm。
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