Invention Publication
CN113498551A 辐射传感器元件和方法
审中-实审
- Patent Title: 辐射传感器元件和方法
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Application No.: CN202080017388.XApplication Date: 2020-02-26
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Publication No.: CN113498551APublication Date: 2021-10-12
- Inventor: 彼得里·海基宁 , 迈克尔·约翰逊
- Applicant: 芬兰探测技术股份有限公司
- Applicant Address: 芬兰奥卢
- Assignee: 芬兰探测技术股份有限公司
- Current Assignee: 芬兰探测技术股份有限公司
- Current Assignee Address: 芬兰奥卢
- Agency: 北京安信方达知识产权代理有限公司
- Agent 武娟; 杨明钊
- Priority: 19160035.2 20190228 EP
- International Application: PCT/FI2020/050124 2020.02.26
- International Announcement: WO2020/174127 EN 2020.09.03
- Date entered country: 2021-08-27
- Main IPC: H01L27/146
- IPC: H01L27/146
Abstract:
提供了一种辐射传感器元件(100)。辐射传感器元件(100)包括具有互连面(111)的读出集成电路(110)、与互连面(111)相对的化合物半导体层(120)以及从互连面(111)朝着化合物半导体层(120)延伸的铜柱互连元件(130)。铜柱互连元件(130)包括铜部分(131)和氧化阻挡层(132)，氧化阻挡层(132)包括贵金属并且被布置在铜部分(131)和化合物半导体层(120)之间。
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