本发明公开了一种电离式气体传感器，包括第一电极板和第二电极板，所述第一电极板远离所述第二电极板的一面溅射一层导电金属薄膜，所述第一电极板面向所述第二电极板的一面设有硅柱电极阵列，所述硅柱电极阵列的上表面设有至少一层金属薄膜，所述金属薄膜的上表面设有金属氧化物纳米线，所述第二电极板面向第一电极板的一面溅射有电极膜，所述第一电极板和第二电极板之间的间距为20‑400μm。该气体传感器制备工艺简单、稳定性好、击穿电压低，适合商业化生产。