为克服现有石英玻璃制备过程中存在羟基的消耗效率低和残留率高的问题，本发明提供了一种石英玻璃制备装置，包括加热装置、载物体和超声波发生装置，所述载物体用于放置二氧化硅物料，所述加热装置用于对所述载物体上的二氧化硅物料进行加热，所述超声波发生装置用于对所述载物体上的二氧化硅物料进行超声处理。同时，本发明还公开了一种石英玻璃制备方法。本发明提供的石英玻璃制备装置能够有效提高在高温均化过程中羟基的消除速度，降低最终石英玻璃中的羟基含量。