- 专利标题: 一种基于MicroLED芯片阵列转移的大负载微调平定位平台
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申请号: CN202110620009.2申请日: 2021-06-03
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公开(公告)号: CN113363194B公开(公告)日: 2022-09-27
- 发明人: 汤晖 , 贾英杰 , 陈新 , 高健
- 申请人: 广东工业大学
- 申请人地址: 广东省广州市越秀区东风东路729号大院
- 专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市越秀区东风东路729号大院
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 黄忠
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L33/00
摘要:
本申请涉及微调平控制技术领域,特别涉及一种基于MicroLED芯片阵列转移的大负载微调平定位平台,包括基座、运动平台、第一驱动机构和第二驱动机构;运动平台沿Z轴方向活动设置于基座;基座设有限位柱,运动平台设有与限位柱相对应的限位槽,限位槽的各个槽壁与限位柱存在间隙;运动平台的中心孔处设有中心件,中心件通过加强板与运动平台连接;第一驱动机构与中心件连接,用于驱使运动平台绕Z轴转动;运动平台的底部设有可沿X轴、Y轴和Z轴形变的柔性件;第二驱动机构设置于基座上,第二驱动机构用于挤压柔性件产生形变,使得运动平台沿Z轴平移以及沿X轴和Y轴偏转。解决了现有定位平台的芯片对位精度和负载能力不高的技术问题。
公开/授权文献
- CN113363194A 一种基于MicroLED芯片阵列转移的大负载微调平定位平台 公开/授权日:2021-09-07
IPC分类: