一种基于MicroLED芯片阵列转移的大负载微调平定位平台
摘要:
本申请涉及微调平控制技术领域,特别涉及一种基于MicroLED芯片阵列转移的大负载微调平定位平台,包括基座、运动平台、第一驱动机构和第二驱动机构;运动平台沿Z轴方向活动设置于基座;基座设有限位柱,运动平台设有与限位柱相对应的限位槽,限位槽的各个槽壁与限位柱存在间隙;运动平台的中心孔处设有中心件,中心件通过加强板与运动平台连接;第一驱动机构与中心件连接,用于驱使运动平台绕Z轴转动;运动平台的底部设有可沿X轴、Y轴和Z轴形变的柔性件;第二驱动机构设置于基座上,第二驱动机构用于挤压柔性件产生形变,使得运动平台沿Z轴平移以及沿X轴和Y轴偏转。解决了现有定位平台的芯片对位精度和负载能力不高的技术问题。
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