Invention Publication
- Patent Title: 制造显示装置的设备和方法以及制造掩模组件的方法
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Application No.: CN202110185153.8Application Date: 2021-02-10
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Publication No.: CN113293348APublication Date: 2021-08-24
- Inventor: 文敏浩 , 郭珍午 , 金仁培 , 宋昇勇 , 李德重 , 秋惠容
- Applicant: 三星显示有限公司
- Applicant Address: 韩国京畿道
- Assignee: 三星显示有限公司
- Current Assignee: 三星显示有限公司
- Current Assignee Address: 韩国京畿道
- Agency: 北京德琦知识产权代理有限公司
- Agent 张燕; 朴圣洁
- Priority: 10-2020-0021769 20200221 KR
- Main IPC: C23C14/04
- IPC: C23C14/04 ; C23C16/04 ; H01L51/56

Abstract:
本申请公开了用于制造显示装置的设备、制造掩模组件的方法和制造显示装置的方法。用于制造显示装置的设备包括:掩模组件,其中掩模组件包括:掩模框架,包括开口区域;第一掩模,被设置在掩模框架上,第一掩模包括至少一个开口;第二掩模,被设置在第一掩模上,第二掩模包括具有网格形状的网格部分和屏蔽网格部分的一部分的阻挡构件;以及第一支撑,用于将显示基板支撑在第二掩模上并且将显示基板与第二掩模分开,其中,阻挡构件与开口重叠。
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IPC分类: