一种金刚线切割液及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种金刚线切割液及其制备方法,属于硅加工技术领域。该金刚线切割液包括以下重量份的各组分:聚乙二醇40‑60份、润滑剂10‑20份、散热剂1‑5份、阴离子表面活性剂1‑2份、防腐剂0.5‑2份、去离子水40‑50份。本发明的金刚线切割液,以去离子水为载体,水基切割液,容易清洗,对环境友好。本发明的金刚线切割液以聚乙二醇与丙二醇和乙二醇为润滑剂,可以有效降低金刚线切割硅锭产生硅颗粒,辅以散热剂,可以有效散热,这样大大延长了金刚线切割液的使用寿命。本发明的金刚线切割液的切缝的崩边、裂缝和粗糙度性能优异,可以提高金刚线切割的切割质量和降低金刚线切割的切割成本。
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