发明授权
- 专利标题: 一种金刚线切割液及其制备方法
-
申请号: CN202110287448.6申请日: 2021-03-17
-
公开(公告)号: CN113072999B公开(公告)日: 2022-03-01
- 发明人: 邓剑明
- 申请人: 广东剑鑫科技股份有限公司
- 申请人地址: 广东省东莞市石排镇埔心村埔心二路
- 专利权人: 广东剑鑫科技股份有限公司
- 当前专利权人: 广东剑鑫科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市石排镇埔心村埔心二路
- 代理机构: 北京冠和权律师事务所
- 代理商 吴金水
- 主分类号: C10M173/02
- IPC分类号: C10M173/02 ; G16C10/00 ; C10N40/22
摘要:
本发明公开了一种金刚线切割液及其制备方法,属于硅加工技术领域。该金刚线切割液包括以下重量份的各组分:聚乙二醇40‑60份、润滑剂10‑20份、散热剂1‑5份、阴离子表面活性剂1‑2份、防腐剂0.5‑2份、去离子水40‑50份。本发明的金刚线切割液,以去离子水为载体,水基切割液,容易清洗,对环境友好。本发明的金刚线切割液以聚乙二醇与丙二醇和乙二醇为润滑剂,可以有效降低金刚线切割硅锭产生硅颗粒,辅以散热剂,可以有效散热,这样大大延长了金刚线切割液的使用寿命。本发明的金刚线切割液的切缝的崩边、裂缝和粗糙度性能优异,可以提高金刚线切割的切割质量和降低金刚线切割的切割成本。
公开/授权文献
- CN113072999A 一种金刚线切割液及其制备方法 公开/授权日:2021-07-06