一种间接接触式石墨烯压力传感器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种间接接触式石墨烯压力传感器及其制备方法,主要包括基底、绝缘层、密封腔、石墨烯、电极、LCP压力接触膜。本发明采用石墨烯间接接触方式:LCP压力接触膜作为直接接触压力元件,将压力转化为膜片变形;膜片变形导致腔体气体产生微小作用力通过孔道作用在四个悬浮石墨烯片上;石墨烯采用电桥法相连接入到外部电路实现压力检测。该压力传感器利用柔性材料作为直接接触元件,不仅有效实现压力转换,而且避免了感应材料石墨烯与外界直接接触,保证了石墨烯优异性质。该压力传感器制备方法简单易行,可广泛应用于气压检测、生物领域的检测。
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