本发明提供一种高可靠性滤光片制作方法，包括：选择硬度大、耐高温、膨胀系数低、化学稳定性良好的石英玻璃；对玻璃基板进行清洗并烘干保存；在镀膜前，对镀膜治具进行抽取高真空，使镀膜治具的真空度稳定在1.0E‑3Pa之间，同时对镀膜治具内的腔体和清洗并烘干后的玻璃基板进行恒温加热至220℃，将恒温加热后的玻璃基板装载至镀膜治具的伞架上，使用高折射率的Ti3O5材料和低折射率的SiO2材料对玻璃基板进行蒸发镀膜；将完成镀膜的玻璃基板进行自然冷却，将高纯度的氮气充入镀膜治具的腔体内对冷却后的玻璃基板进行固化。与现有技术相比，本发明能改善产品力学特性，制作出高可靠性的滤光片，能解决现有技术中产品良率不高、滤光片容易脱膜、崩边和裂角的问题。