本发明公开并保护了一种基于多项式混沌克里金元模型的近阈值电路延时估计方法，考虑近阈值电压下工艺参数波动变大的影响，通过多项式混沌克里金元模型构建从工艺参数到电路延时的模型，进而对电路路径延时进行良率评估，实现一种近阈值电压下精确有效的时序分析方法，为电路设计提供指导。首先通过工具PrimeTime提取出电路的关键路径，通过拉丁超立方对电路进行高效采样，继而在不同的工艺参数条件下通过SPICE仿真获得关键路径的延时，通过广义幂变换以及最大似然估计使非高斯分布的延时数据转换为符合高斯分布的数据，应用多项式混沌克里金元模型构建出低电压下路径延时模型，最终完成对电路的时序良率评估。