本发明涉及质量分析装置，是搭载了基于ES I法的离子源的单一型的四极型质量分析装置，并且是具备排气速度相对较小的真空泵的小型装置。将用于将离子从离子化室(2)导入第1中间真空室(3)的去溶剂管(11)的内径设为作为小型质量分析装置来说较大的0.4mmφ，并决定旋转泵(18)的排气速度以使去溶剂管(11)的截面开口的面积与第1中间真空室(3)内的压力的积达到15～40mm2·Pa的范围内。由此，能够确保高检测灵敏度并减轻因液滴导致的去溶剂管(11)的堵塞。此外，由于第1中间真空室(3)内的压力也不必设得过分高，因此能够使用排气速度较小的小型的旋转泵作为旋转泵(18)。