一种成像模组的制造方法
摘要:
本发明公开了一种成像模组的制造方法,包括:提供第一衬底,在第一衬底上键合第一介质层;图形化第一介质层,以形成相互独立的至少一第一凸块、至少一第二凸块,至少一第二凸块围成的区域定义被移动元件的位置区域;提供压电元件,一端通过第一粘合材料粘贴在第一凸块上,另一端至少部分位于第二凸块上方,在通电状态下,压电元件的另一端向上或者向下翘曲,带动被移动元件向上或者向下移动;将被移动元件通过第二粘合材料粘贴在第二凸块上,被移动元件与第二凸块具有相对部分,被移动元件、第二粘合材料、第二凸块围成凹槽,或被移动元件设有伸出被移动元件的膜层,膜层、第二粘合材料、第二凸块围成凹槽;进行解键合以去除第一衬底。
公开/授权文献
专利代理机构排行榜
0/0