本发明公开了一种处理等离子裂解有机氟尾气中氮氧化物的方法及装置，方法包括，将等离子裂解有机氟的尾气经物理吸收后从吸收塔的下部导入，通过从吸收塔上部进入的尿素溶液的负压逆流循环喷淋实现尾气的复合吸收，最后将经复合吸收后的尾气经中和吸收后排放；装置包括依次连接的一级吸收塔、二级吸收塔和三级吸收塔，等离子裂解有机氟的尾气通过管道与一级吸收塔的气体进口连接，二级吸收塔的气体进口和气体出口分别与一级吸收塔的气体出口和三级吸收塔的气体进口连接，三级吸收塔的气体出口与大气连通。本发明反应条件温和，吸收效率高；节能环保，没有副反应产生，不产生二次污染；工艺简单，适应性强，操作方便，操作弹性大、治理成本低。