本发明公开了一种提高便携式质谱仪真空效率的装置及其方法，其装置包括：金属三通(1)、真空泵(2)、气体钢瓶(3)和质谱仪腔体(4)，所述金属三通(1)与真空泵(2)之间通过金属管路和真空管路控制阀(6)连接，所述金属三通(1)与所述气体钢瓶(3)之间通过金属管路和减压阀(7)连接，金属三通(1)与质谱仪腔体(4)之间通过金属管路和总阀(5)连接。本发明实施例采用干燥惰性气体对便携式质谱仪内腔进行正压防护，大幅减少空气中水分的侵入和凝结；通过外部接入辅助真空装置，实现真空效率的显著提升。