发明公开
- 专利标题: 一种基于棱镜的横向剪切干涉光谱成像仪及成像方法
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申请号: CN202011643062.6申请日: 2020-12-30
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公开(公告)号: CN112781727A公开(公告)日: 2021-05-11
- 发明人: 王鹏冲 , 冯玉涛 , 李思远 , 张朋昌 , 陈莎莎 , 杨莹 , 胡炳樑 , 卫翠玉
- 申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 申请人地址: 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
- 专利权人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 当前专利权人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
- 代理机构: 西安智邦专利商标代理有限公司
- 代理商 汪海艳
- 主分类号: G01J3/28
- IPC分类号: G01J3/28 ; G01J3/45 ; G01J3/02
摘要:
本发明提供一种基于棱镜的横向剪切干涉光谱成像仪及成像方法,解决现有干涉光谱成像技术中移动部件扫描不稳定的问题,应用于干涉波前理论重建、光学检测、光学计量、像质评价以及精密测试等领域。包括沿光路依次设置的前置望远镜准直系统,剪切干涉仪、傅里叶变换成像物镜以及光电探测器;前置望远镜准直系统位于光路最前端,光电探测器位于傅里叶变换成像物镜的像面上;远场目标依次经过前置望远镜系统、剪切干涉仪、傅里叶变换成像物镜后在光电探测器靶面上形成干涉条纹;光电探测器记录干涉条纹后经计算机处理形成光谱图像。